催化燃烧装置具有操作方便、能耗低、自动化、阻力小、净化高、使用寿命长等特点，根据废气预热方式及收集方式，催化然烧工艺流程可分为3种。

1、吸附-催化燃烧

当废气的流量大、浓度低、温度低，采用催化燃烧需耗大量燃料时，可先采用吸附手段将废气吸附于吸附剂上进行浓缩，然后通过热空气吹扫，使废气脱附出来成为浓缩了的高浓度废气（可浓缩10倍以上），再进行催化燃烧。此时，不需要补充热源，就可维持正常运行。

2、预热式

预热式是催化燃烧的基本流程形式。废气温度在100℃以下，浓度也较低，热量不能自给，因此在进入反应器前需要在预热室加热升温，燃烧净化后气体在热交换器内与未处理废气进行热交换，以回收部分热量。该工艺通常采用煤气或电加热升温至催化反应所需的起燃温度。

3、自身热平衡式

当废气排出时温度较高（在300℃左右），高于起燃温度，且物含量较高，热交换器回收部分净化气体所产生的热量，在正常操作下能够维持热平衡，无需补充热量，通常只需要在催化燃烧反应器中设置电加热器供起燃时使用。