光催化废气处理设备利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射恶臭气体和TiO2光催化，催化裂解恶臭气体如：氮、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机废气或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
TiO2光催化的催化化性在很大程度上影响光催光反应速率，而TiO2光催光活性主要受TiO2的晶型和粒径的影响。锐钛型TiO2的催化活性高。随着粒径的减少，电子与空穴简单复合的概率降低，光催化活性增大。另外，孔隙率、平均孔径、粒子表面状态，纯度等对其光催化活性也均有一定影响。为了提高光降解效率，对TiO2光催化剂进化改性，如研制纳米TiO2，制备TiO2的复合半导体，金属离子掺杂、染料光敏化等。也可以采用各种先进的手段制备TiO2催化剂，以提高光催化剂的活性。
光催化废气处理设备利用高能臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O一+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。
利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌分子键，破坏细菌的核酸(DNA)，再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的。
光催化废气处理设备又称之为紫外光除臭设备，光电离子废气净化设备，光解催化氧化废气净化设备等。它是一种能高效快速去除挥发性有机物、无机物、硫化氢、氨气、硫醇、苯等各种恶臭气体的环保设备。脱臭效果较好，脱臭效果大大超过国家颁布的恶臭污染物排放标准(GB14554-93)。
光催化废气处理设备广泛应用于喷漆废气处理、油墨废气处理、塑胶废气处理、化工废气处理、制药废气处理、污水池臭气处理、饲料废气处理、铸造废气处理等各种有污染源恶臭气体的废气处理脱臭净化。
